姑苏材料论坛|百及纳米创始人周向前博士受邀作学术报告

发布时间:2022-04-06

46日下午,百及纳米创始人、德国亚琛工业大学博士、中国科协“海智专家”周向前受邀做客第26期姑苏材料论坛,作《利用原子尺度探针技术实现纳米器件制作和表征的技术创新》线上学术报告。本次报告会由实验室战略规划部部长李顺峰主持。

报告中,周向前博士从原子尺度纳米制造和测量技术的应用场景出发,指出随着芯片的技术节点进一步进入3纳米时代,亚纳米级器件制造和表征技术将成为最核心的关键技术之一,介绍了其团队利用探针技术提出的一系列不同于传统技术路线的原子尺度上的器件制作和表征技术方案,获得了国际领先的技术研发成果。其中重点讲解了新一代电子束光刻技术、扫描探针电子束光刻技术和单纳米级精准定位的单离子注入技术三大应用场景,并就线上科研人员的提问进行答疑解惑

周向前博士的精彩报告丰富了科研人员在探针技术方面的相关知识,有助于大家进一步跟踪学术前沿,拓宽国际视野,提高专业能力。