项目编号：G2105
G2105
发布时间：2022-01-05
项目介绍
分子束外延（MBE）是当今最先进的薄膜制备技术之一，在现代半导体工业发展中起着十分关键的作用。长期以来，MBE设备制造的核心技术一直牢牢掌握在美国、法国等西方发达国家手中，并限制对我国出口。本项目通过发展分子束外延设备，通过产业链和生态的建设，摆脱此类设备依赖进口的局面，为相关技术和行业的发展创造可持续成长的基础和能力。
MBE作为一种高级真空蒸发形式，因其在材料化学组分和生长速率控制等方面的优越性，非常适于各种化合物半导体及其合金材料的同质结和异质结外延生长，并在微波、毫米波器件及电路和光电器件制备中发挥了重要作用。
分子束外延设备在制备新一代半导体材料中发挥着极其重要的作用，可用于制备GaAs、GaN为代表的化合物半导体，广泛应用于半导体激光器、红外探测器、关键射频器件等，在现代半导体工业发展中起着十分关键的作用
苏公网安备 32059002003194号