项目编号：G2121
G2121半导体工业级在线式X射线光电子能谱的关键技术研究
发布时间：2021-12-21
项目介绍
本项目旨在实现半导体行业工业级的XPS系统的开发，这其中包括适配于低真空度下的XPS检测系统的腔体以及光电磁组件的设计和升级；全自动传样系统的机械臂以及抓头设计；基于以上硬件的检测软件，数据智能分析软件和全自动进样控制软件的设计。以国产化的半导体工业级XPS晶圆检测系统为基础，自硬件X射线光电子能谱层面向上直至全自动化操作控制软件系统的全系列技术，开发出一整套围绕大尺寸晶圆检测的分析系统。
通过该项目的顺利实施，可以有效的解决我国面临的半导体产业链“卡脖子”技术问题，打破欧美国家在该领域的垄断地位，提高我国科学仪器设备的自主创新能力和自我装备水平，支撑科技创新，同时带动半导体仪器上下游产业链的发展。
苏公网安备 32059002003194号