一、项目信息

采购人：材料科学姑苏实验室

项目名称：分子束外延设备

拟采购项目的说明：本项目致力于通过将分子束外延设备和金属有机物化学气相沉积设备结合起来提升外延设备的最大优势，助力蓬勃发展的化合物半导体产业，并将之推向新的更广更深的维度。

拟采购项目的预算金额：人民币壹仟贰佰万元整（￥12000000.00）。

采用单一来源采购方式的原因及说明： 

采购单位为了满足工作需要，现需购置分子束外延设备，须具备如下功能要求：

1.具备4x4˝多片分子束外延设备生产能力，并能满足持续稳定生产需求；

2.快速进样室真空度：抽真空30分钟后好于5x10-7Torr，极限真空好于2x10-8Torr；预处理室/Buffer极限真空达到2x10-10Torr；

3.生长腔真空度：烘烤48小时+泵抽24小时后真空度好于2x10-10Torr（不通液氮）；冷屏通液氮后真空度好于5x10-11Torr；

4.Al,In,Ga,Si,Mg和Bi源炉在工作温度下，温度稳定性好于±0.1℃；

5.样品架温度稳定性应好于±0.3℃；

6.样品加热盘温度均匀性好于±2℃；

7.等离子氮源的束流均匀性：以Si基GaN生长GaN外延层为例，生长速率为1um/h，3x2˝基片上90%以上的区域厚度偏差≤2%；

8.AlGaN均匀性：以Si基GaN生长200nm厚的Al0.2Ga0.8N或3um厚的GaN外延层为例，3x2˝基片上90%以上的区域成分和厚度偏差≤2%；

9.Si/Mg掺杂：以500nm厚的Al0.08Ga0.92N外延层为例，3x2˝基片上90%以上的区域掺杂浓度偏差≤2%；

本次采购的设备需要满足定制化需求，必须与金属有机化学气相设备结合，根据分子束外延设备和金属有机化学气相沉积设备各自的具体结构，定制化设计两者之间的互联装置系统，从而实现全自动样品交换装置的制造。经查询，只有迪希埃（北京）半导体技术有限公司生产的分子束外延设备能同时满足上述技术参数要求，故该项目只能采用单一来源方式采购，并必须由迪希埃（北京）半导体技术有限公司（地址：北京市顺义区中关村科技园临空二路1号）承担。该采购方式符合《中华人民共和国采购法》第三十一条第一款。

二、拟定供应商信息

供应商名称：迪希埃（北京）半导体技术有限公司

供应商地址：北京市顺义区中关村科技园区顺义园临空二路1号

三、公示期限

2021年8月20日至2021年8月27日，如对以上公示内容存有异议，请于上述公示期限内携书面材料向苏州市创杰招投标咨询服务有限公司提出，在此期限后提出的异议将不再受理。

四、其他补充事宜：

1、论证人员名单

2、公示媒体：中国招标投标公共服务平台、材料科学姑苏实验室

五、联系方式：

1.采购人：材料科学姑苏实验室

联系人：董博雅

联系地址：江苏省苏州市工业园区若水路388号

联系电话：0512-66600796 

2.采购代理机构：苏州市创杰招投标咨询服务有限公司

联系人：施紫秋 潘莉莉

联系地址：苏州市干将西路399号银海大厦303室

联系电话：0512-68669209

材料科学姑苏实验室

2021年8月20日

分子束外延设备-单一来源专家论证意见表.pdf