一、项目信息

采购人：材料科学姑苏实验室

项目名称：MOCVD（金属有机物化学气相沉积设备）

拟采购项目的说明：材料科学姑苏实验室是瞄准国家实验室标准和国际一流水准建设的 新型研发机构。本次采购的是M0CVD （金属有机物化学气相沉积）设备， 主要用于VCSEL等器件的研究。G2101项目中将开展VCSEL等器件的研究，为了生长高质量材料和研 发高性能器件，需要M0CVD系统在精确控制材料厚度、组分等的同时能 保证外延材料的均匀性，提高器件的良率，使项目研发的技术易于转移 到生产型设备上。

拟采购项目的预算金额：人民币壹仟柒佰伍拾万元整（￥17500000.00）。

采用单一来源采购方式的原因及说明： 

1. 目前国外主要有VEEC0和AIXTR0N两家公司，由于VEEC0和 AIXTR0N两个公司在GaN和GaAs/InP MOCVD系统各有所长，近些年化合 物半导体外延市场逐步分化为VEECO公司业务以GaN系统为主，AIXTRON 公司业务以GaAs/InP系统为主。VEECO的GaAs/InP MOCVD系统原材料消 耗比 AIXTRON MOCVD 系统高 20-30%,且 VEECO MOCVD 系统生长 GaAs/InP 材料的均匀性（4吋片内DBR中心波长偏差大于10nm）比AIXTRON机型 的均匀性（G4-6"x8机型，6吋片内DBR中心波长偏差可控制在2nm以内） 差不少。目前市场上用于生长GaAs/InP的VEECO MOCVD （E450-4wxl4和 K475-4"xl5）数量很少，主要用于对生长厚度和均匀性要求相对较低的 红黄光LEDo根据我们对市场的调研，没有用VEECO MOCVD系统生长对材 料厚度等要求精度较高的VCSEL等器件结构的公司或研究机构，VCSEL外 延材料几乎都是AIXTRON公司的G系列系统生长。虽然最近VECCO推出 了新款GaAs/InP MOCVD系统R480 （6”x7）,据称其均匀性与AIXTRON的 G4相当，但价格明显比G4高。

2. 国内中微和中晟两家公司销售MOCVD系统。中微只提供GaN材 料的MOCVD系统，没有GaAs/InP MOCVD系统;中晟也是主要销售GaN MOCVD 系统，销售到俄罗斯一台GaAs/InP MOCVD系统，由于疫情一直没有验收， 其性能尚未得到验证。由于GaN材料生长系统和GaAs/InP MOCVD生长系 统在反应室结构设计、生长温度范围、加热系统及尾气处理系统方面的 差别，GaN MOCVD系统不能用于生长GaAs/InP材料。3. 考虑到G2101项目中将开展VCSEL等器件的研究，为了生长高质 量材料和研发高性能器件，需要MOCVD系统在精确控制材料厚度、组分 等的同时能保证外延材料的均匀性，提高器件的良率，这样项目研发的 技术易于转移到生产型设备上。

4. 原计划釆购二手G4设备用于项目，但市场上二手G4极少，通过 多方努力目前尚未找到货源。市场上有由二手GaN G4改造而成的 GaAs/InPG4系统，一方面性能比原装系统差（外延材料表面颗粒密度高）， 另一方面，由于基本上都是2010年左右出厂的系统，使用寿命难以保证， 很可能存在可靠性问题、后续维护费用高，且目前售价都在100万美元 以上。

鉴于以上情况，经多项综合比较，AIXTRON SE的G4机型具有单一来源的唯一性，因此只能釆用单一来源方式采购。

公司地址：Domkaulstrasee 2,52134 Herzogenrath， Germany

。符合《中华人民共和国采购法》第31条第1款的要求。

二、拟定供应商信息

供应商名称：AIXTRON SE

供应商地址：Domkaulstrasee 2,52134 Herzogenrath， Germany

三、公示期限

2021年9月24日至2021年9月30日，如对以上公示内容存有异议，请于上述公示期限内携书面材料向东方国际招标有限责任公司提出，在此期限后提出的异议将不再受理。

四、其他补充事宜：

1、论证人员名单

2、公示媒体：中国政府采购网、中国招标投标公共服务平台、材料科学姑苏实验室

五、联系方式：

1.采购人：材料科学姑苏实验室

联系人：董博雅

联系地址：江苏省苏州市工业园区若水路388号

联系电话：0512-66600796 

2.采购代理机构：东方国际招标有限责任公司

联系人：王军

联系地址：北京市海淀区西三环北路甲2号院理工大学国防科技园6号楼1301

联系电话：010-68290508

材料科学姑苏实验室

2021年9月24日

材料科学姑苏实验室采购金属有机物化学气相沉积设备（MOCVD）单一来源论证表.pdf